EUV光源換道超車的可能性

最近,SSMB方案受到廣泛關注,EUV光源技術可能被其超越。從技術層面看,SSMB與同步輻射光源有某些相似之處,SSMB具備產業化的條件。從供應鏈的角度看,我國在同步輻射光源領域有良好基礎,在核心零部件可自主可控的前提下,HEPS項目已實現光源出束。目前,SSMB方案已通過理論驗證,項目建設有望被提上日程。

如果SSMB方案的商業化進展順利,我國將在光刻機領域取得重大突破,並推動國內先進製程領域的發展。建議關注SSMB主題的兩個投資方向:項目基礎設施供應商、光刻機關鍵零部件供應商。